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有沒有了解或者知道積分散射顯微鏡的?
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有沒有了解或者知道積分散射顯微鏡的?
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datou
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樓主
發(fā)表于: 2005-11-12
這種低成本的非接觸
顯微鏡
,不知道前景如何?
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liujj
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1樓
發(fā)表于: 2005-11-14
不知道樓主指的是什么?顯微鏡基本上都是非接觸式的
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moonljy
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發(fā)表于: 2005-11-15
恩,沒聽說過。樓主簡單介紹下吧
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3樓
發(fā)表于: 2005-11-15
介紹一下,大家討論討論,希望這個特色版塊打出名氣.
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datou
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4樓
發(fā)表于: 2005-11-15
哈哈,有人關(guān)注,真好!
8-FW'bA
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我還不太了解顯微鏡,上面的表述可能有常識性錯誤,海涵海涵!
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A<[BR*n
所謂積分散射顯微鏡呢,主要是針對超光滑表面的,表面粗糙度1A量級,比如微電子中的硅片,以及激光腔的反射片透射片等。
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原理很簡單,入射光打到樣品表面,除了鏡面反射之外,在各個方向(樣品一側(cè)的2派弧度內(nèi))都有微弱的散射光(Scattering),其強度分布可以從衍射理論推出,稱為ARS分布;而把ARS在半球空間內(nèi)積分,稱為總積分散射(TIS),理論表明,TIS與樣品表面粗糙度之間有個簡單的關(guān)系,故可以通過測量TIS來得到樣品的表面形貌。
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所謂非接觸主要是針對原子力顯微鏡(AFM)來講的,因為AFM是可以測量到1A量級的,但是會損傷表面。
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