近期，中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所精密光學(xué)制造與檢測(cè)中心魏朝陽研究員團(tuán)隊(duì)基于CO2激光的缺陷表征與去除過程，實(shí)現(xiàn)了高抗紫外激光損傷熔石英元件制造。相關(guān)研究成果發(fā)表于Light: Advanced Manufacturing。 s^'#"`!v=  
-01 1U!  
熔石英元件紫外激光誘導(dǎo)損傷問題嚴(yán)重制約了高功率激光系統(tǒng)的發(fā)展。由于目前接觸式研拋工藝不可避免得存在加工缺陷，且難以被后處理完全去除，大大降低了熔石英元件使用性能和壽命。 6-14Htsk6  
Z;SG<  
研究團(tuán)隊(duì)基于微秒脈沖激光低應(yīng)力均勻燒蝕技術(shù)提出了激光層析燒蝕表征亞表面缺陷方法，并將其耦合到材料快速去除過程中，實(shí)現(xiàn)了研磨階段亞表面缺陷的完全去除。之后采用激光保形清洗方法清洗燒蝕表面再沉積污染物，并用激光熔融拋光平滑燒蝕軌跡，實(shí)現(xiàn)了熔石英元件的CO2激光全鏈路柔性加工。與傳統(tǒng)工藝相比，CO2激光加工鏈路能有效抑制加工缺陷的引入從而實(shí)現(xiàn)更高損傷閾值熔石英元件的制備。該研究提出的基于激光的缺陷表征與去除方法為亞表面缺陷研究與抑制策略制定提供了新的工具，同時(shí)也為熔石英元件低缺陷加工提供了新思路。 ^i)Q CDU7  
!nBm}E7d