摘要 U(LR('-h  
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像光柵這樣的光學(xué)設(shè)備對(duì)光的偏振比較敏感。 因此，在仿真中適當(dāng)考慮光的偏振非常重要。 在實(shí)際中，光柵有時(shí)會(huì)以非偏振光作為輸入。 作為兩個(gè)正交偏振態(tài)的平均值，我們?yōu)槟�展示了如何在VirtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此，我們提供了示例來說明軟件中的相應(yīng)設(shè)置。 A1$'[8U~3  
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圖片:1-20112009493IU.png

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光柵仿真中的非偏振光 Ao0PFY  
•光柵分析 &YKzK)@  
−對(duì)于使用傅立葉模態(tài)方法（FMM / RCWA）的單光柵分析，使用平面波入射來計(jì)算 (k.7q~:  
例如：作為被研究光柵固有特性的衍射效率。 zNJyF;3  
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•非偏振平面波 tah%jRfT&  
−考慮到沿z方向的平面波，可以將非偏振光視為同一時(shí)間可以處于任何偏振態(tài)。 y'/9KrV T  
−任意偏振態(tài)可以沿兩個(gè)正交基底投影，并且統(tǒng)計(jì)上，非偏振光沿兩個(gè)正交基底給出相等的投影。 "*\3.`Kd  
−因此，我們可以使用兩個(gè)正交狀態(tài)的平均值，并以非相干方式表示非偏振光。 7/!C  
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圖片:1-201120095040556.png

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光柵仿真中的光源設(shè)置 EQO7:vb  
•手動(dòng)控制光源偏振態(tài) P"@^'yR5WK  
−在VirtualLab Fusion中，光始終以矢量形式表示，并且可以完全控制光源設(shè)置中的偏振態(tài)。 *3Z#r  
−按照基本概念，可以根據(jù)非偏振光的需要，以特定的輸入偏振態(tài)執(zhí)行光柵仿真。 例如，通過選擇TE和TM偏振作為兩個(gè)正交基，分別執(zhí)行光柵仿真，然后通過功能區(qū)菜單功能手動(dòng)平均結(jié)果。 @Qozud\?  
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圖片:1-20112009512UG.png

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