摘要
E!ZDqq czedn_}%Q 像
光柵這樣的
光學(xué)設(shè)備對(duì)光的偏振比較敏感。 因此，在
仿真中適當(dāng)考慮光的偏振非常重要。 在實(shí)際中，光柵有時(shí)會(huì)以非偏振光作為輸入。 作為兩個(gè)正交偏振態(tài)的平均值，我們?yōu)槟故玖巳绾卧赩irtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此，我們提供了示例來(lái)說(shuō)明
軟件中的相應(yīng)設(shè)置。
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s7&% _!4 TmO\!` 光柵仿真中的非偏振光
FJ#V"| } •光柵分析
qQVqS7 t −對(duì)于使用傅立葉模態(tài)方法（FMM / RCWA）的單光柵分析，使用平面波入射來(lái)計(jì)算
|!&,etu 例如：作為被研究光柵固有特性的
衍射效率。
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rmK_Y •非偏振平面波
)_+#yaC −考慮到沿z方向的平面波，可以將非偏振光視為同一時(shí)間可以處于任何偏振態(tài)。
a@m>S$S −任意偏振態(tài)可以沿兩個(gè)正交基底
投影，并且統(tǒng)計(jì)上，非偏振光沿兩個(gè)正交基底給出相等的投影。
ku`'w;5jT −因此，我們可以使用兩個(gè)正交狀態(tài)的平均值，并以非相干方式表示非偏振光。
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m*[ " ?#]c{T lpz 光柵仿真中的
光源設(shè)置
\r<&7x#j •手動(dòng)控制光源偏振態(tài)
DY,Sfh;tp −在VirtualLab Fusion中，光始終以矢量形式表示，并且可以完全控制光源設(shè)置中的偏振態(tài)。
"7gS*v,r −按照基本概念，可以根據(jù)非偏振光的需要，以特定的輸入偏振態(tài)執(zhí)行光柵仿真。 例如，通過(guò)選擇TE和TM偏振作為兩個(gè)正交基，分別執(zhí)行光柵仿真，然后通過(guò)功能區(qū)菜單功能手動(dòng)平均結(jié)果。
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