11月28日，上海微電子裝備（集團）股份有限公司公開了其最新的光刻機相關(guān)專利。 -Jd|H*wWo  
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據(jù)天眼查顯示，上海微電子公開的專利名為“投影物鏡光學系統(tǒng)及光刻機”。申請日期是2022年5月19日，公布日期是​2023年11月28日。 \
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