最新評(píng)論

likaihit 2023-11-29 00:13

實(shí)物在哪里

redplum 2023-11-29 00:14

這個(gè)很有意義

tassy 2023-11-29 00:59

関注微電子投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)

phisfor 2023-11-29 07:02

上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”專(zhuān)利公布

星空38 2023-11-29 07:50

上海微電子公開(kāi)的專(zhuān)利名為“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”

wangjin001x 2023-11-29 08:03

上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”專(zhuān)利公布

liulin666 2023-11-29 08:17

上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”專(zhuān)利公布 3Ki`W!C  

雨后無(wú)文 2023-11-29 08:20

有意義

牛開(kāi)心 2023-11-29 08:37

上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”專(zhuān)利公布

wmh1985 2023-11-29 08:39

本發(fā)明提供了一種投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)，所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)沿其光軸方向從物面到像面依次包括：第一透鏡組、第二透鏡組、光闌、第三透鏡組與第四透鏡組。 其中，所述第三透鏡組與所述第二透鏡組關(guān)于所述光闌對(duì)稱(chēng)，所述第四透鏡組與所述第一透鏡組關(guān)于所述光闌對(duì)稱(chēng)，所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)是對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)，且所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)中所有的透鏡組均具有正光焦度，以此可以在提高成像質(zhì)量的基礎(chǔ)上，增大曝光系統(tǒng)的視場(chǎng)尺寸，提升產(chǎn)率。