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上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機”專利公布 據(jù)天眼查顯示，上海微電子公開的專利名為“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機”。申請日期是2022年5月19日，公布日期是2023年11月28日。  天眼查專利頁面截圖 該專利摘要顯示，本發(fā)明提供了一種投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機，所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)沿其光軸方向從物面到像面依次包括：第一透鏡組、第二透鏡組、光闌、第三透鏡組與第四透鏡組。 其中，所述第三透鏡組與所述第二透鏡組關(guān)于所述光闌對稱，所述第四透鏡組與所述第一透鏡組關(guān)于所述光闌對稱，所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)是對稱結(jié)構(gòu)，且所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)中所有的透鏡組均具有正光焦度，以此可以在提高成像質(zhì)量的基礎(chǔ)上，增大曝光系統(tǒng)的視場尺寸，提升產(chǎn)率。  投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖 |
最新評論
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swy312 2023-11-29 11:45期待突破
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wcl1983cn 2023-11-29 12:29沒具體公開可以實現(xiàn)多少nm的制程工藝啊
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liu.wade 2023-11-29 12:47上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機”專利公布
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personking 2023-11-29 13:04[資訊]上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機”專利公布 [復(fù)制鏈接]
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cufgr 2023-11-29 13:20以此可以在提高成像質(zhì)量的基礎(chǔ)上，增大曝光系統(tǒng)的視場尺寸，提升產(chǎn)率。
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譚健 2023-11-29 13:26路過學(xué)習(xí)下
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striving 2023-11-29 16:54上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機”專利公布
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莫名其妙331 2023-11-29 17:25發(fā)明專利嗎？
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sac 2023-11-29 17:36投影物鏡
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sgsmta 2023-11-29 17:56投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機