摘要
)MW}!U9G Ollv _o3 白光
干涉測量法是一種非接觸式技術，用于精確測量，例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜
干涉儀設置和氙燈
光源，在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測量�？紤]到光源的
光譜特性，即有限的相干長度，結(jié)果顯示僅當兩個臂的路徑長度幾乎相同時才出現(xiàn)干涉圖案。
+|)#yE$aMh 8 ]MzOGB8 $yqq.#1 1. 建模任務
^(JbJ@m/ ~#km0<r? 2. 干涉條紋的變化
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~teW1lMu( 3. VirtualLab Fusion概覽
Ns= b&Uyc mXM>6>;y g E+OQWu 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
/lQ0`^yB 設置輸入場
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