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摘要 Q l^I$5&
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當(dāng)用近軸光照明時(shí)，亞波長(zhǎng)光柵僅產(chǎn)生一個(gè)衍射級(jí)，因此在這種情況下無(wú)法成圖像。為了克服這一問(wèn)題，可以使用非傍軸照明。如在此示例中，采用高NA聚光透鏡來(lái)為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明，并且該衍射場(chǎng)將由另一個(gè)高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過(guò)程，包括使用傅立葉模態(tài)法對(duì)亞波長(zhǎng)光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。 NrT!&>M
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 M_* "g>Z }.ZX.qYX 1. 建模任務(wù) #4iSQ$0
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|;e K5(| 2. 結(jié)果 P*Va<'{:{
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