摘要 (-J'x%2)
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aQHR=.S]X "kFNOyj3\ 元件內(nèi)部場分析器:FMM允許用戶可視化和研究微
結(jié)構(gòu)和
納米結(jié)構(gòu)內(nèi)部的電磁場分布。為此,使用傅立葉模態(tài)法/嚴格耦合波分析(FMM/RCWA)計算周期性結(jié)構(gòu)(透射或反射、電介質(zhì)或金屬)內(nèi)部的場。還可以指定場的哪一部分應(yīng)該可視化:正向模式、反向模式或兩者同時顯示。
}x#e.}hf& Fsl="RB7f 元件內(nèi)部場分析儀:FMM O,7S1 t!xdKX& } Z molL0y 元件內(nèi)部場分析器:FMM是
光柵光學(xué)裝置的獨有功能,可提供光柵結(jié)構(gòu)內(nèi)部電磁場的可視化。
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