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4nN%5c~= 4@&8jZ)a 元件內(nèi)部場分析器：FMM允許用戶可視化和研究微
結(jié)構(gòu)和
納米結(jié)構(gòu)內(nèi)部的電磁場分布。為此，使用傅立葉模態(tài)法/嚴格耦合波分析（FMM/RCWA）計算周期性結(jié)構(gòu)（透射或反射、電介質(zhì)或金屬）內(nèi)部的場。還可以指定場的哪一部分應該可視化：正向模式、反向模式或兩者同時顯示。
_{_ybXG| uosFpa 元件內(nèi)部場分析儀：FMM
:,h47'0A 5Q;Fwtm f R$E*Jd 元件內(nèi)部場分析器：FMM是
光柵光學裝置的獨有功能，可提供光柵結(jié)構(gòu)內(nèi)部電磁場的可視化。
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