摘要 ,/KHKLY7  
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光柵結(jié)構(gòu)廣泛應(yīng)用于各種光學(xué)應(yīng)用場(chǎng)景，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)、脈沖整形等�？焖傥锢砉鈱W(xué)軟件VirtualLab Fusion通過(guò)使用傅里葉模態(tài)方法(FMM，也稱(chēng)為RCWA)，為任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析提供了通用和方便的工具。為此，復(fù)雜的一維或二維周期結(jié)構(gòu)可以使用界面和調(diào)制介質(zhì)進(jìn)行配置，這允許任何類(lèi)型的光柵形貌進(jìn)行自由的配置。在此用例中，詳細(xì)討論了衍射級(jí)次的偏振態(tài)的研究。
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簡(jiǎn)要介紹衍射效率與偏振理論 4bO7rhve  
某個(gè)衍射級(jí)次（𝑛）的效率表示有多少的輻射功率被衍射到這個(gè)特定的級(jí)次中。它是由復(fù)數(shù)值瑞利系數(shù)計(jì)算出來(lái)的，瑞利系數(shù)包含了每個(gè)衍射級(jí)次（矢量）電磁場(chǎng)的全部信息。瑞利系數(shù)本身是由FMM對(duì)光柵的特征值問(wèn)題進(jìn)行嚴(yán)格分析的結(jié)果。 :+YFO.7  
如果在TE/TM坐標(biāo)系(CS)中給出瑞利系數(shù)，則可以計(jì)算衍射效率： ?TXFOr]g]2  

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其中，n_in/n_out為覆蓋層和襯底層的折射率，ϑ_in/ϑ_out為所分析的階次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示輻射光的振幅。 @{a(f;  
如果瑞利系數(shù)沿𝑥、𝑦和𝑧給出瑞利系數(shù)，則必須應(yīng)用以下方程： 0-5:"SN'  

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因此，必須考慮所給出的瑞利系數(shù)的坐標(biāo)系。默認(rèn)情況下，光柵坐標(biāo)系中為

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