摘要 1G7b%yPA  
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光柵結構廣泛應用于各種光學應用場景，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)、脈沖整形等。快速物理光學軟件VirtualLab Fusion通過使用傅里葉模態(tài)方法(FMM，也稱為RCWA)，為任意光柵結構的嚴格分析提供了通用和方便的工具。為此，復雜的一維或二維周期結構可以使用界面和調制介質進行配置，這允許任何類型的光柵形貌進行自由的配置。在此用例中，詳細討論了衍射級次的偏振態(tài)的研究。 jEz+1Nl)  
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