摘要
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Ic jvE&%|Ngw 線柵偏振器,可以使透射光產生線性偏振狀態(tài),是眾多應用中常見的一種
光學元件。由于它們的
結構在亞
波長范圍內,因此必須對光的傳播進行嚴格的處理。VirtualLab的偏振分析器及其內置的RCWA能夠詳細分析和
優(yōu)化,不僅是偏振器,還有抗反射結構和其他類型的
光柵。它提供了與偏振有關的反射和/或透射衍射階數的信息,同時還可以分析效率與波長和/或入射角的關系。
]mO7O+ J]*?_>"#8 任務描述
5&U?\YNLa /LCRi 本文件的主題是使用偏振分析器研究光柵的衍射階數的偏振狀態(tài)。
~m7?:(/lb gAGcbepX 光柵式光學裝置中的偏振分析器
8g_GXtn(z 5=_))v<Tp W2,Uw1\:1 編輯偏振分析器
P.t7_v> h4M>k{ ?B4X&xf.D -該分析器計算了所定義結構的每個衍射階數的兩個正交偏振狀態(tài)的效率之和(無論是透射還是反射)。
7LW%:0 -為此,在相應
系統(tǒng)的光柵組件中配置的光柵被使用。
+-:G+9L@ -效率之和可以從所有(傳播)階數中計算,也可以從用戶定義的階數范圍中計算。
-S}^b6WL o:/ymeG 編輯偏振分析器
O`0A#h&No =G/`r!r*0I 5fhe{d"si -入射
光束的偏振狀態(tài)可以根據以下坐標系來定義。
r?n3v[B a. 光柵的坐標系
uchz<z1 b.光源的坐標系
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