摘要
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\jcEEIEi mp x/~`c 由于相位和
結(jié)構(gòu)之間的直接關(guān)系，
衍射分束鏡通常采用一定的傍軸近似來設(shè)計，這些算法也提供了這種近似，反之亦然。在非傍軸或甚至高NA分束器的情況下，這些近似將引入一些不準確性，因此，如果不進行額外嚴格的后
優(yōu)化，至少建議進行嚴格的分析。在這個用例中，使用奇數(shù)衍射級對典型的二元1:6分束器執(zhí)行這樣嚴格的評估。為此，對初始
系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進行了
參數(shù)化，并通過可編程
光柵分析器定義了一組自定義的評價函數(shù)。對于參數(shù)優(yōu)化和后續(xù)的公差分析，使用嚴格的傅里葉模態(tài)法 (FMM)。
RZ:i60 3M&I Mf,/@ 建模任務(wù)
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M 衍射分束面初始設(shè)計(*)
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