復(fù)雜
光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應(yīng)用于
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等領(lǐng)域。VirtualLab Fusion
軟件用傅立葉模態(tài)法(FMM,或者RCWA)一種簡易的
仿真方法來嚴(yán)格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面,可以設(shè)置堆棧的幾何圖形,從而生成復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。
• 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 − 基于介質(zhì)定義的類型 − 基于界面定義的類型
T]vD ,I+ • 計(jì)算之前修改高級選項(xiàng)和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。
QHM39Eu] • 提示:在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中,表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的,層狀光柵(一維周期性)被稱作二維光柵。
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+q ifgaBXT55 初始化光柵工具箱
R*[ACpxr • 初始化
[]2GN{m − 開始菜單欄 (Start)
e+6~JbMV 光柵菜單欄(Grating)
Z9sg6M@s 通用光柵光路圖(三維光柵) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
p~mB;pZ%; • 提示:對于特殊類型的光柵,例如柱形光柵,
nK|"; 可以在光柵工具箱中直接點(diǎn)擊柱形光柵光路
vv8$u3H 圖(三維光柵)(Pillar Grating Light
c"z%AzUV' Path Diagram(3D Gratings))
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