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摘要 u/FC\xJc
GK#D R/OM
 r uy?#rk 8#HQ05q> 干涉測量法是一項用于光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例，在非序列場追跡技術(shù)的幫助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 F1p|^hYDW
;Hb"SB 建模任務(wù) "tu*(>'~5
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 UU ' 9 n ;y[%H!g 由于組件傾斜引起的干涉條紋 S KGnx
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 M{p9b E[j ;HiaX<O! 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 845\u& LN9.Q'@r?
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