摘要
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0 ) O0Cz n 掃描
干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光
光源的低相干性，僅當(dāng)光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的
顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。
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<XdnVe1 INg0[L pc 建模任務(wù)
HGQ</5Z B]rdgjz* 8 1,N92T5 仿真干涉條紋
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O =Z}DGa+ *[Hp &6f VirtualLab Fusion中的工作流程
VeA@HC `?" @ st>#]i4 •設(shè)置輸入場
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p −基本光源
模型[教程視頻]
h,{m{Xh •使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓
[EAOk=X •定義元件的位置和方向
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z3 j − LPD II：位置和方向[教程視頻]
22l'kvo4" •正確設(shè)置通道以進行非
序列追跡
/JD}b[J$ −非序列追跡的通道設(shè)置[用例]
'n &p5% •使用
參數(shù)運行檢查影響/變化
t>bzo6cj −參數(shù)運行文檔的使用[用例]
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