1.摘要 %n}.E304  
3"[ KXzn  
白光干涉儀是一種非接觸測(cè)量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測(cè)量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長(zhǎng)度等光譜特性，結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長(zhǎng)度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 n^Z?u9VR  
   c<&+[{|  

圖片:1-191204120226228.png

^J% w[FE  
56<LMY|d  
2. 建模任務(wù) ObM5v