這是一個簡單的二維
光柵的案例，它有兩個周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形
結(jié)構(gòu))、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
p+O 2 : +%$'( t s 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當
波長為193nm時，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度
S偏振光照明的場矢量
q L6Rs 
P偏振光照明的場矢量 *Ge2P3
VQr)VU=jb 后處理傅里葉變換計算透射
衍射級次的振幅。
t?1+Yw./em , q j 參數(shù)掃描
o%+8.Tx6wT edt(Zzk@3- Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級次的強度：
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