這是一個簡單的二維
光柵的案例，它有兩個周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形
結構)、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
o^~ZXF} U&#`
<R_0 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當
波長為193nm時，平面波從襯底側垂直入射到結構內(nèi)的近場強度
S偏振光照明的場矢量
CnB[ImMs(A 
P偏振光照明的場矢量 ~Qb Hp|g
-Rw3[4>@O" 后處理傅里葉變換計算透射
衍射級次的振幅。
(O+d6oT=Z2 Sh!c]r>\Q 參數(shù)掃描
!=:>y
