摘要
Mb9q<4 K;97/"
對于許多應(yīng)用來說（例如背光、
光學(xué)連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導(dǎo)
結(jié)構(gòu)中是一個重要的問題。對于這些應(yīng)用，傾斜
光柵因?yàn)槟軌蚋咝У伛詈蠁紊舛皇熘Ｔ诖耸纠�，介紹了使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進(jìn)行
優(yōu)化。對于給定的方向級次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的
衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。
R utW{wh QP;b\1 1m 
I{AU ,
