光學(xué)干涉裝置廣泛用于精密的表面或波前測試和細(xì)節(jié)分析，特別是菲索干涉儀作為工業(yè)上應(yīng)用最廣泛的表面輪廓檢測技術(shù)之一，正占據(jù)著重要的地位。我們在VirtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)基于斐索干涉儀的測試光學(xué)系統(tǒng)，使用幾種類型的表面作為測試對象，并觀察不同的干涉條紋。此外，還介紹了用于鏡頭測試的馬赫-曾德爾干涉儀。 p5 t#d)
r_RT tS# 用于光學(xué)測試的菲索干涉儀 SP1oBR"3
v!C+W$,T 利用非序列場追跡技術(shù)建立了菲索干涉儀，給出了不同測試表面的干涉條紋。 T`[ZNq+${
cSDCNc*% 馬赫-曾德爾干涉儀
D|#(zjl@ u#|Jl|aT 我們在VirtualLab Fusion中構(gòu)建了馬赫-曾德爾干涉儀，并演示了元件的傾斜和偏移對干涉條紋的影響。 XKIJ6M~5k !qve1H4d2
