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摘要 |)';CBb zK /f$} 0i_ <dJIq"){ 對于許多光學(xué)應(yīng)用來說需要減少表面反射。控制表面反射的一種非常有效的方法是使用抗反射的納米或微米結(jié)構(gòu),啟發(fā)來源于自然界(蛾眼)。這些具有亞波長范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出關(guān)于波長和角度依賴性的獨特性質(zhì)。在本文中,介紹了VirtualLab Fusion中確定抗反射結(jié)構(gòu)的分析和設(shè)計。 sVlZNj9i" 7Ff?Ysr 設(shè)計任務(wù) WxDb3l~ @C<d2f|8 xtu]F j`+0.Zlq 如何優(yōu)化抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的參數(shù)?最小化空氣-PMMA界面的反射? 0JrK/Ma3 eTT^KqE>& 掃描參數(shù)空間以獲取初始解 ->Q`'@'|P U!.~XT= `L+~&M JgxA^>|9; 初始解#1的參數(shù)優(yōu)化 9DY|Sa]#= f^ywW[dF #Ul4&QVeg 1riBvBT 最終設(shè)計#1的性能分析 SAQs{M hq]xmM?& i)GeX: p5D5%B/ 初始解#2的參數(shù)優(yōu)化 %h3L }=xI3;7 1Q0%7zRirI x$*E\/zi<! 最終設(shè)計#1的性能分析 .<0=a|IAz 2z[r@}3 A>J1B(up $dr27tse&< VirtualLab Fusion一瞥 mQmBf|Rl 3"f)*w7d rL.<Z@- p6B .s_G4 VirtualLab Fusion中的工作流程 #:
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