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光整形>衍射光學(xué) )%:
W;H Sx_j`Cgy 任務(wù)說明 #S|On[Q! IJ{VCzi Lk)TK/JM) 0U2dNLc 靈活地導(dǎo)出制造數(shù)據(jù): X`]>J5 - 平滑的界面 S;{[];
- 量化界面 nF
'U* - 鏡子/棱鏡/光柵單元陣列 tK\$LZ 0.wN&:I8t 亮點 YIl,8!
z~ 導(dǎo)出各種表面形狀的制造數(shù)據(jù) 1-G-p:| 導(dǎo)出像光刻制造技術(shù)的二元掩膜的量化界面 G<~P||Lu^ Gl
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