摘要 +[F9Q,bH@b  
直接設(shè)計(jì)非近軸衍射分束器仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大，元件的特征尺寸與工作波長(zhǎng)在相同的數(shù)量級(jí)上。因此，設(shè)計(jì)過(guò)程超出了近軸建模方法。因此，在這個(gè)例子中，迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應(yīng)用于嚴(yán)格的性能評(píng)估。 >eRbasshEI  
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設(shè)計(jì)任務(wù) 3G>E>yJ  
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使用近軸近似的衍射1：7×7分束器的初步設(shè)計(jì)，通過(guò)嚴(yán)格分析，進(jìn)一步優(yōu)化零階均勻性和影響 $x2<D :  
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光柵級(jí)次分析模塊設(shè)置 {'}Ofj  
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使用常規(guī)的分束器會(huì)話2編輯器，VirtualLabFusion提供了一個(gè)指導(dǎo)工具，允許用戶一步一步地指定所有影響分束器設(shè)計(jì)的參數(shù)。 f%|g7[  
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1. 通過(guò)應(yīng)用設(shè)計(jì)帶中的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，所得到的傳輸函數(shù)可以轉(zhuǎn)換為結(jié)構(gòu)輪廓。 4< H-ol  
2. 對(duì)于此轉(zhuǎn)換，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的結(jié)構(gòu)與初始相位函數(shù)成正比。 `\.n_nM  
3. VirtualLab Fusion提供計(jì)算出的形式已經(jīng)預(yù)設(shè)在光路中。 `zsKc 6%  
4. 要在不同的模擬場(chǎng)景中使用這種結(jié)構(gòu)，需要從組件內(nèi)部獲取實(shí)際的采樣表面或指定的堆棧。 $@#nn5^IX  
衍射分束器表面 (8
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為了進(jìn)一步評(píng)估，使用了通用光柵光學(xué)設(shè)置，其中加載之前保存的堆棧。光柵光學(xué)裝置提供了獨(dú)特的工具、組件和分析儀，以進(jìn)一步研究給定周期結(jié)構(gòu)的特性和性能。 74[}AA  
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衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 'Kl
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 一般光柵組件提供了薄元近似(TEA)和傅里葉模態(tài)方法(FMM)作為解決模型給定的光柵。 T!*7G:\f"  
 薄元近似通常產(chǎn)生更快的結(jié)果，當(dāng)結(jié)構(gòu)小于波長(zhǎng)的5倍,可能有精度問(wèn)題，。 $8eq&_gJ  
 傅里葉模態(tài)方法允許一個(gè)嚴(yán)格的模擬，但需要更高的數(shù)值計(jì)算。 )8N/t6Q  
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