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摘要 }3"FQ/6C
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 ranLH m.nB J wkMRO 干涉測量法是一項(xiàng)用于光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機(jī)械和熱變形的高精度測量。作為一個(gè)典型示例，在非序列場追跡技術(shù)的幫助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對(duì)干涉條紋圖的影響。 ~(B vI zzD
z2Pnni7Ys 建模任務(wù) UJqDZIvC
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 'q #$^ ='o @ 435K'! 由于組件傾斜引起的干涉條紋 &m>yY{ be
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