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    [討論]非接觸式加工能否成為藍(lán)寶石超精密制造的終極答案？——離子束VS飛秒激光技術(shù)對比 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 昨天 08:45
    技術(shù)背景 _;;'/rs j  
    隨著極紫外光刻（EUV）、空間激光通信等領(lǐng)域的精度需求逼近物理極限，傳統(tǒng)接觸式加工已難滿足需求。本文對比兩種前沿工藝：     *@XJ7G[  
    1. 反應(yīng)離子束刻蝕（RIBE） )CYm/dk  
    • 優(yōu)勢： -FAAP&LG  
      各向異性刻蝕（縱橫比>10:1），適合微棱鏡陣列加工
    • 原子級去除（0.1nm/cycle），理論面型精度可達(dá)λ/50
    S690Y]:h$v  
    瓶頸：
    • 設(shè)備成本高（>200萬美元）
    • 大曲率元件邊緣刻蝕均勻性控制（需動(dòng)態(tài)束流校正）
    2. 飛秒激光誘導(dǎo)等離子體加工（FLIP） C&&*6E5  
    • 創(chuàng)新點(diǎn)： 1YGj^7V)|Z  
      利用非線性吸收效應(yīng)（閾值~2J/cm²），實(shí)現(xiàn)亞波長結(jié)構(gòu)直寫
    • 加工熱影響區(qū)（HAZ）<50nm，避免晶格相變
    ^[7ZB