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摘要 vB T]a xr'gi(.o 分析特定衍射級(jí)的衍射效率是光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務(wù)。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長(zhǎng)相當(dāng)，因此必須通過(guò)嚴(yán)格的方法計(jì)算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務(wù)的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復(fù)數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場(chǎng)信息，從中可以獲得相應(yīng)的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。 C*1, aLSw
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 f<aJiVP lDm0O)Dh! 光柵規(guī)格 8 ,<F102( ()I';o C@Fk
•為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 Y)]x1I
•操作中的層，提供高反射（HR）功能。 ley : =(
•光柵參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過(guò)光柵組件的編輯對(duì)話框中完成。 ZpTT9{PT=:
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N t ,"Nfo`7 光柵級(jí)次分析器設(shè)置 ?3{:[* A ^wIsAxT } :8{z`4H
•定義光柵結(jié)構(gòu)后，可使用所需的光柵級(jí)次分析器計(jì)算瑞利系數(shù)和相關(guān)衍射特性。 r @
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•此外，各種輸出選項(xiàng)可用于顯示結(jié)果。 ct#3*]
•這是通過(guò)分析器的編輯對(duì)話框完成的，該對(duì)話框通過(guò)雙擊光學(xué)設(shè)置視圖中的相應(yīng)元件顯示。 yw9)^JU8"
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