襯底材料是
半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的基石。不同的襯底材料,需要不同的外延生長(zhǎng)技術(shù)、
芯片加工技術(shù)和器件封裝技術(shù),襯底材料決定了半導(dǎo)體照明技術(shù)的發(fā)展路線。襯底材料的選擇主要取決于以下九個(gè)方面:
}d%CZnY&7 _mm(W=KiL [1]結(jié)構(gòu)特性好,外延材料與襯底的晶體結(jié)構(gòu)相同或相近、晶格常數(shù)失配度小、結(jié)晶性能好、缺陷密度;
`rn/H;r!Z [2]界面特性好,有利于外延材料成核且黏附性強(qiáng);
l= {Y[T& [3]化學(xué)穩(wěn)定性好,在外延生長(zhǎng)的溫度和氣氛中不容易分解和腐蝕;
9QU\J0c/ [4]熱學(xué)性能好,包括導(dǎo)熱性好和熱失配度小;
?M:>2wl [5]導(dǎo)電性好,能制成上下結(jié)構(gòu);
7hk<{gnr [6]
光學(xué)性能好,制作的器件所發(fā)出的光被襯底吸收。
ta?NO{* [7]機(jī)械性能好,器件容易加工,包括減薄、拋光和切割等;
lAnq2j| [8]價(jià)格低廉;
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,#v [9]大尺寸,一般要求直徑不小于2英吋。
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