物理氣相沉積技術是一種對材料表面進行改性處理的高新技術, 最初和最成功的發(fā)展是在半導體工業(yè)、航天航空等特殊領域。在機械工業(yè)中作為一種新型的表面強化技術起始于80 年代 '#f?#(  
初, 而且主要集中在切削工具的表面強化。以改善機械摩擦副零件性能為目的的研究近10 多年才受到廣泛重視, 是現(xiàn)在重點開發(fā)的新領域。物理氣相沉積技術作為高新技術在先進制造技術 '%O\E{h  
和技術進步中占有重要的地位, 本文對其最新發(fā)展的部分概況作一介紹。 oZvG3_H4.  
1　應用對象不斷擴展 j?J=w=.Nx  
美國Balzers Too l Coat ing 公司1994 年評估了用PVD 法制取的薄膜在2000 年前的市場發(fā)展前景[1 ] , 認為, 1980 年PVD 鍍層95% 用于改善切削工具壽命, 在2000 年50%PVD 鍍層將用 DZAH"
sb  
于提高切削工具性能, 另50% 將用于改善沖壓模、磨損零件部等的壽命。由于大量采用新技術和新工藝, 使物理氣相沉積技術近10 年在模具和磨損零部件的應用上邁進了一大步, 正在改變那 4`0;^K.  
種PVD 就是刀具上鍍T iN 的傳統(tǒng)概念。 f[M"EMy  
物理氣相沉積法用于零件防蝕抗磨損鍍層越來越多, 取得非常好的效果。德國Do rrenberg Edelstah l 公司開發(fā)了一種在壓模上使用電弧蒸發(fā)鍍沉積、具有高附著力的CrN 涂層的PVD 3mA/Nu_  
法[2 ] , 鍍層性能高于T iN 或T iCN 鍍層, 可用于鋁件的加工模具上。 _6I