1.干涉儀及干涉條紋的解析
A]>0lB sSvQatwS 評價(jià)
光纖連接器端面的球面半徑和光纖高度,首先必須測量連接器端面的形狀。干涉儀具有測量
精度高,速度快,成本低等優(yōu)點(diǎn),是測量表面形狀的一個(gè)有效手段。圖3.是光纖連接器端面檢測干涉儀的系統(tǒng)概要。由
光源射出的光線經(jīng)半
透鏡反射到米羅干涉
物鏡后,光線聚焦于被檢測光纖連接器的端面,經(jīng)端面反射后與米羅干涉物鏡的反射面反射的光線一同透過半透鏡,成像于ccd攝像頭。這時(shí)在ccd攝像頭上可以觀察到干涉條紋。ccd攝像頭測得的圖像經(jīng)圖像卡傳送到計(jì)算機(jī)進(jìn)行解析處理。就可以得到我們所需要的測量結(jié)果。由計(jì)算機(jī)經(jīng)過控制卡及控制回路控制的pzt(壓電陶瓷組件)用于移動米羅干涉物鏡以產(chǎn)生位相移動。
#$#{QEh0} MenI>gd? 解析干涉條紋可以應(yīng)用傅立葉變換法2,3,4,也可以應(yīng)用位相移動法5,6。傅立葉變換法具有簡單,快速,低成本等優(yōu)點(diǎn),但精度較低,一般用于簡易型測量儀。對于光纖連接器端面形狀的測量,一般采用解析精度較高的位相移動法。
jIEK[vJ` m>a6,#I 必須指出的是位相連接是一個(gè)比較復(fù)雜的過程。選擇不同的位相連接算法,計(jì)算速度和安定性將會不同。
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