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    [求助]關(guān)于波長(zhǎng)控制的一個(gè)話(huà)題 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2008-12-21
    請(qǐng)教大家一個(gè)問(wèn)題,機(jī)器離子濺射,在控制波長(zhǎng)方面,以往是調(diào)節(jié)試樣鏡片到靶的距離就行了,而且非常敏感。最近幾次調(diào)了很多距離也不見(jiàn)波長(zhǎng)有變化。請(qǐng)問(wèn)造成這種情況有哪些可能呢? Th6xwMq  
    膜厚控制為光學(xué)極值法。
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2008-12-21
    第一次聽(tīng)說(shuō)這樣調(diào)節(jié)的,我們調(diào)節(jié)的一般是單色儀的輸出波長(zhǎng),基片位置是不動(dòng)的,補(bǔ)充一下,我的是真空蒸鍍
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2008-12-22
    老式設(shè)備嘛 + S^OzCGk