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    [轉(zhuǎn)載]紫外激光在微細(xì)加工技術(shù)中的優(yōu)勢(shì)研究 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-03-02
    1 引言 = 1.9/hW  
    k{I 01  
    激光技術(shù)是20世紀(jì)與原子能、半導(dǎo)體及計(jì)算機(jī)齊名的四項(xiàng)重大發(fā)明之一.四十多年來,隨著小型電子產(chǎn)品和微電子元器件需求量的日益增長(zhǎng),對(duì)于加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔點(diǎn)材料)的精密處理日漸成為激光在工業(yè)應(yīng)用中發(fā)展最快的領(lǐng)域之一. (Pbg[AY  
    i+{yMol1  
    激光加工是激光產(chǎn)業(yè)的重要應(yīng)用,與常規(guī)的機(jī)械加工相比,激光加工更精密、更準(zhǔn)確、更迅速.該技術(shù)利用激光束與物質(zhì)相互作用的特性對(duì)包括金屬與非金屬的各種材料進(jìn)行加工,涉及到了焊接、切割、打標(biāo)、打孔,熱處理、成型等多種加工工藝。激光獨(dú)一無二的特性使之成為微處理的理想工具,目前廣泛應(yīng)用于微電子、微機(jī)械和微光學(xué)加工三大領(lǐng)域。 n6<V+G)T  
    &ldBv_  
    激光加工技術(shù)是利用激光束與物質(zhì)相互作用的特性對(duì)材料(包括金屬與非金屬)進(jìn)行切割、焊接、表面處理、打孔及微加工等的一門加工技術(shù). ye}p~&  
    eq4C+&O&  
    激光加工有其獨(dú)特的特點(diǎn): ])}(k  
    c>"cX&  
    (1)范圍廣泛:幾乎可以對(duì)任何材料進(jìn)行雕刻切割。 ?OlV"zK  
    (2)安全可靠:采用非接觸式加工,不會(huì)對(duì)材料產(chǎn)生機(jī)械擠壓或機(jī)械應(yīng)力. _zWfI.o  
    (3)精確細(xì)致;加工精度可達(dá)0.01mm. /Q{P3:k  
    (4)效果一致:保證同一批次的加工效果一致.