Transene產(chǎn)品列表:
X|w[:[P 一. 蝕刻劑
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可用于微電子電路
半導(dǎo)體以及
薄膜材料
V"`t*m$ 可蝕刻以下多種材質(zhì)的薄膜:AL,Al2O3,BOE,Cr,Cr-Si,Cr-SiO,Cu,F(xiàn)TO,GaAs,GaN,Ga2O3,GaP,Ge,Au,In2O3,ITO,InP,F(xiàn)e2O3,Polvimide,Mo,Nb,NbN,NbO,Ni-Cr,Ni,Ni-V,Pd,Ru,Si,SiC,SiO2,SiO,Si3N4,Aq,stainless steel,Ta,Ta3N5,Ta2O5,TaSi,Ti,TiN,Ti-w,W,SnO。
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