1.前言
2XV| ( $sb@*K}:4 近年來(lái)，給家電行業(yè)帶來(lái)繁榮的民用磁帶錄像機(jī)(VTR)，是由于磁頭的微細(xì)槽加工技術(shù)得到確立所致。進(jìn)而IC存儲(chǔ)芯片的存儲(chǔ)器擴(kuò)大競(jìng)爭(zhēng)是因?yàn)椴竭M(jìn)器為代表的微小定位裝置和
光學(xué)透鏡系統(tǒng)取得非常大的進(jìn)步�？梢哉f(shuō)，這些尖端加工技術(shù)，使日本上升為—個(gè)技術(shù)國(guó)家。
$7xfLS8Vo 但是，這些尖端加工技術(shù)，是所謂精密定位技術(shù)，從輪廓生成的觀點(diǎn)來(lái)看時(shí)，其精度還低1個(gè)或2個(gè)數(shù)量級(jí)、勉強(qiáng)進(jìn)入微米級(jí)，可以說(shuō)與歐美的超精密技術(shù)相比，還差1、2步則是實(shí)情。
TNeL%s?B3 隨著
半導(dǎo)體激光器等各種
激光器和 X射線應(yīng)用機(jī)器的發(fā)達(dá)，對(duì)光學(xué)透鏡(球面、非球面透鏡)和反射鏡、聚光鏡均要求形狀精度在亞微米以上。因此，為適應(yīng)這種精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)原計(jì)劃水平的要求，我們開(kāi)發(fā)出采用出靜壓機(jī)械元件和激光式測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)構(gòu)成的全封閉系統(tǒng)的“SUP一200L”型超精密 NC車(chē)床。在微米、亞微米的高精度車(chē)床方面，本公司在 VTR業(yè)界和軟驅(qū)動(dòng)領(lǐng)域銷(xiāo)售了有數(shù)百合以上交付實(shí)績(jī)。
+XX5;;IC 1985年6月作為向超精密方面邁進(jìn)第一步，開(kāi)發(fā)了超精密小型磁盤(pán)加工機(jī)。下面就以其實(shí)績(jī)和研究作為基研而開(kāi)發(fā)的“SUP一200L”(照片1)說(shuō)明車(chē)床的設(shè)計(jì)思想和其性能。
'Z,7{U1 P /#"9!8%V 本部分內(nèi)容設(shè)定了隱藏，需要回復(fù)后才能看到
