LenScan鏡面定位儀的原理： w;]~2$  
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LenScan鏡面定位儀的光學(xué)原理，為采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀，并且參考鏡位置可以精確移動(dòng)，當(dāng)干涉儀的測(cè)量臂與參考臂光程相等時(shí)，才能夠發(fā)生干涉。這樣通過(guò)監(jiān)控參考鏡的移動(dòng)，就可以測(cè)量被測(cè)鏡的位置。 V)3S.*]  
    其工作原理圖如下： s^>1rV]=(`  
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工作過(guò)程: Source(短相干光源)發(fā)出短相干光束,經(jīng)Coupler（耦合器）分束成兩束光，這兩束光分別通過(guò)Collimators(準(zhǔn)直儀)聚焦到Measurement  arm(測(cè)量臂) 和Reference  arm(參考臂)上，在測(cè)量臂段，光束經(jīng)待測(cè)物前后兩表面反射產(chǎn)生R₁和R₂兩束反射光；在參考臂段，光束被delay line(延遲線路)中的scan mirror(可掃描的參考鏡) 反射。各反射光束經(jīng)光學(xué)光纖返回到Coupler中，此時(shí)掃描反射鏡反射的光束分別與R₁和R₂兩束光發(fā)生干涉產(chǎn)生兩干涉信號(hào)經(jīng)Photodiode(光電二級(jí)管)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)再由顯示儀顯示。 2>h.K/pC  
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測(cè)量方法: 通過(guò)調(diào)節(jié)掃描參考鏡在延遲光路上的位置，調(diào)出兩干涉信號(hào)分別出現(xiàn)極大值的兩個(gè)位置，此兩極值位置所對(duì)應(yīng)的掃描參考鏡在延遲光路上的位置之差即待測(cè)物品的光學(xué)厚度。而其實(shí)際厚度則為光學(xué)厚度除以其折射率。 dZ{yNh.]  
考慮到光源的短相干特性，LenScan在應(yīng)用中有以下特征需要注意： ,#hx%$f}d  
(1)      采用短相干光源，且滿(mǎn)足相干長(zhǎng)度小于待測(cè)物品的光學(xué)厚度的兩倍，從而使得反射光束R₁和R₂相互不能發(fā)生干涉； <,huajQs  
(2)      掃描參考鏡的反射光與反射光束R₁(或R₂)的光程差小于短相干光源相干長(zhǎng)度時(shí)，才能發(fā)生干涉并產(chǎn)生相干信號(hào)。且光程差為零時(shí)，干涉信號(hào)才出現(xiàn)極大值，故兩極值位置所對(duì)應(yīng)的掃描參考鏡在延遲光路上的位置之差即待測(cè)物品的光學(xué)厚度。 &!KW[]i%9}  
(3)      掃描參考鏡在延遲光路上的位置精度有兩種等級(jí)：LS系統(tǒng)，采用光柵尺測(cè)量( 1μm)；LI系統(tǒng)，采用激光測(cè)距( 150nm)。 Xw]L'+V=  
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LenScan 鏡面定位儀的應(yīng)用： .!yw@kg  
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 主要用于光學(xué)系統(tǒng)中的位置和厚度測(cè)量。其中典型應(yīng)用為透鏡中心厚度測(cè)量和通過(guò)測(cè)量透鏡間空氣隙的長(zhǎng)度來(lái)控制透鏡在透鏡系統(tǒng)光軸中位置(如下圖)。 <Kt;uu>  
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