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引用第6樓27676995于2010-04-24 23:58發(fā)表的 : p Wt) A 檢漏 查看擴散泵烘烤絲 在看看你的溫度測環(huán) 用比較真空計檢查真空計 包括高真空規(guī)管 都OK了的話 再換油 先燒油10小時以上 不停抽 到5.5 充氣再抽 到正常為止 !不能正常的話 再拆泵 檢查 擴散泵 找找擴散泵原理的資料 1.2.3級排氣有啥問題 !有問題的話 能加工修復(fù)最好 沒問題換泵 南光的泵不怎么地 呵呵 就是麻煩 A%D7bQ