此機(jī)之前的故障是抽真空只能抽到5.5*10-3帕，然后再抽幾個(gè)小時(shí)都抽不下來(lái)一直在5.5*10-3帕左右。之后對(duì)該機(jī)清洗擴(kuò)散泵更換泵油，對(duì)整個(gè)真空室進(jìn)行徹底清理，更換高筏軸心密封圈，擋板密封圈，公轉(zhuǎn)密封圈。之后再抽真空冷抽可以抽到7.9*10-4帕，擴(kuò)散泵能抽到1.2*10-4帕，熱抽只能抽到3.6*10-3帕就又抽不動(dòng)了一直在3.6*10-3帕左右 好象和之前的情況一樣，對(duì)多個(gè)可能漏氣的地方我都進(jìn)行了撿漏可是都沒(méi)有發(fā)現(xiàn)有漏的地方，實(shí)在是搞不明白。請(qǐng)那位高手指點(diǎn)指點(diǎn)，在此謝過(guò)！我的電話是0757-81694529 。
