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原位薄膜應(yīng)力儀

發(fā)布：gftech 2010-07-29 14:18 閱讀：2172

薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)，薄膜應(yīng)力測試儀，薄膜應(yīng)力計，薄膜應(yīng)力儀，F(xiàn)ilm Stress Tester, Film Stress Measurement System;
1.薄膜應(yīng)力測量范圍：5×105到4*1010dynes/cm2（或者5×104Pa to 4×109Pa）；
2.薄膜應(yīng)力測量分辨率：優(yōu)于0.1MPa;

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原位薄膜應(yīng)力儀