自從1958年世界上出現(xiàn)第一塊平面集成
電路開始算起，在短短的四十多年中，微
電子技術以令世人震驚的速度突飛猛進地發(fā)展，創(chuàng)造了人間奇跡。作為微電子技術
工藝基礎的微光刻技術是人類迄今為止所能達到的
精度最高的加工技術。
;U<rc'qE iSFuT7; % 微光刻技術既偉大也很微小當今世界各行各業(yè)都離不開
信息科學信息科學離不開計算機技術計算機技術的發(fā)展離不開微電子技術微電子技術工藝基礎是微光刻技術微光刻技術一次又一次突破
分辨率極限，使微電子技術得以創(chuàng)造了如此偉大的人間奇跡細細回味：幾十年來微光刻技術把微細加工尺寸從微米級推進到
納米級，與在人類從宇宙太空到原子世界的整個研究探索領域相比，也只是微小的一段。
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