本人對(duì)光學(xué)基本一竅不通，但是因?yàn)樾枰?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=衍射',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_7">衍射光柵集成到MEMS器件上面，需要了解一下微光學(xué)/二元光學(xué)的制作工藝。 o?S!o}
因?yàn)槠骷技稍诠枭�，所以特求使用半�?dǎo)體/MEMS工藝制作工藝在微光學(xué)方面的書(shū)。 )}1S
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其中灰度光刻是制作微光學(xué)結(jié)構(gòu)的一個(gè)很好的方法，當(dāng)然還有很多微納加工的工藝方法。 !xE@r,'oN
望涉獵此行的同仁不吝賜教，幫忙推薦或者開(kāi)導(dǎo)。 _[,7DA.qc
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