磁控濺射不同厚度銀膜的微
結構及其
光學常數
/ehmy(zL b3Uw"{p 用直流濺射法在室溫 (’
玻璃基底上制備了 $)!*+—#",)!*+ 范圍內不同厚度的 -.
薄膜, 并用 / 射線衍射及計算機輔助
優(yōu)化程序對薄膜的微結構和光學常數進行了測試分析0 結構分析表明: 制備的 -. 薄膜均呈多晶狀態(tài),
晶體結構均呈面心立方; 隨著膜厚的增加, 薄膜的平均晶粒尺寸逐漸增大, 晶面間距逐漸減小0 計算機輔助優(yōu)化編程計算的薄膜光學常數分析表明: 在
波長 %%"*+ 處, 當膜厚小于 #,)%*+ 時, 隨著膜厚的增加,
折射率 快速減小,消光系數 則快速增大; 當膜厚大于 #,)%*+ 時, 和 逐漸趨于穩(wěn)定
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