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    [分享]磁控濺射不同厚度銀膜的微結構及其光學常數 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-11-03
    磁控濺射不同厚度銀膜的微結構及其光學常數 /ehmy(zL  
    b3Uw"{p  
    用直流濺射法在室溫 (’ 玻璃基底上制備了 $)!*+—#",)!*+ 范圍內不同厚度的 -. 薄膜, 并用 / 射線衍射及計算機輔助優(yōu)化程序對薄膜的微結構和光學常數進行了測試分析0 結構分析表明: 制備的 -. 薄膜均呈多晶狀態(tài),晶體結構均呈面心立方; 隨著膜厚的增加, 薄膜的平均晶粒尺寸逐漸增大, 晶面間距逐漸減小0 計算機輔助優(yōu)化編程計算的薄膜光學常數分析表明: 在波長 %%"*+ 處, 當膜厚小于 #,)%*+ 時, 隨著膜厚的增加, 折射率 快速減小,消光系數 則快速增大; 當膜厚大于 #,)%*+ 時, 和 逐漸趨于穩(wěn)定 (rHS2SA\5  
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