機械制造技術(shù)從提高精度與生產(chǎn)率兩個方面同時迅速發(fā)展起來。在提高生產(chǎn)率方面，提高自動化程度是各國致力發(fā)展的方向，近年來，從C N C到C I M S發(fā)展迅速，并且在一定范圍內(nèi)得到了應(yīng)用。從提高精度方面，從精密加工發(fā)展到超精密加工，這也是世界各主要發(fā)達國家致力發(fā)展的方向。其精度從微米到亞微米，乃至納米，其應(yīng)用范圍日趨廣泛，在高技術(shù)領(lǐng)域和軍用工業(yè)以及民用工業(yè)中都有廣泛應(yīng)用。如激光核聚變系統(tǒng)、超大規(guī)模集成電路、高密度磁盤、精密雷達、導(dǎo)彈火控系統(tǒng)、慣導(dǎo)級陀螺、精密機床、精密儀器、錄象機磁頭、復(fù)印機磁鼓、煤氣灶轉(zhuǎn)閥等都要采用超精密加工技術(shù)。 Y.<&phv  
它與當(dāng)代一些主要科學(xué)技術(shù)的發(fā)展有密切的關(guān)系，是當(dāng)代科學(xué)發(fā)展的一個重要環(huán)節(jié)，超精密加工技術(shù)的發(fā)展促進了機械、液壓、電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、傳感器和測量技術(shù)以及材料科學(xué)的發(fā)展。

1超精密加工技術(shù)概述

超精密加工目前就其質(zhì)來說是要實現(xiàn)以現(xiàn)有普通精密加工手段還達不到的高精度加工，就其量來說是要加工出亞微米乃至毫微米級的形狀與尺寸賴皮并獲得納米級的表面粗糙度，但究竟多少精度值才算得上超精密加工一段要視零件大小、復(fù)雜程度以及是否容易變形等因素而定。 LT5rLdn  
超精密加工主要包括超精密切削(車、銑) 超精密磨削、超精密研磨 nO