我國LED芯片生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備MOCVD成功下線
我國國產(chǎn)的代表國際尖端水平的高亮度LED芯片生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備MOCVD(金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備)在正泰集團上海張江理想能源設(shè)備有限公司6日成功下線,打破了該領(lǐng)域長期被歐美企業(yè)壟斷的局面,國內(nèi)LED生產(chǎn)成本有望顯著下降。 MOCVD是高亮度LED芯片生產(chǎn)過程中最關(guān)鍵的設(shè)備,因設(shè)備技術(shù)難度高、開發(fā)周期長以及國內(nèi)產(chǎn)業(yè)化起步晚等原因,市場主要被歐美企業(yè)所壟斷。 近年來,隨著高亮度LED在戶外顯示、液晶面板背光、汽車應(yīng)用等領(lǐng)域滲透率的不斷提高,特別是半導(dǎo)體照明市場的啟動,對量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備的需求呈現(xiàn)出爆發(fā)性的增長,全球年需求達數(shù)百臺、市場規(guī)模數(shù)十億美元。 我國LED外延芯片與封裝在規(guī)模和品質(zhì)上都取得了舉世矚目的成就,產(chǎn)品國產(chǎn)化比例顯著提升,但關(guān)鍵裝備特別是量產(chǎn)型MOCVD仍然依靠進口,生產(chǎn)成本居高不下,嚴重制約著LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此開發(fā)出更高性價比的國產(chǎn)商業(yè)化MOCVD設(shè)備是海峽兩岸LED外延芯片企業(yè)的迫切要求。 2010年9月,理想能源啟動MOCVD項目,在兩年時間里,理想能源技術(shù)團隊設(shè)計開發(fā)出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備,并完成了第一代單腔體獨立設(shè)備和高產(chǎn)出率的簇式生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)組裝,成功地實現(xiàn)GaN基LED外延片的發(fā)光。 |