4D動(dòng)態(tài)干涉儀
原理 HE_ UHv 4D動(dòng)態(tài)干涉儀采用偏振光干涉原理，將傳統(tǒng)相移干涉儀的時(shí)間域相移轉(zhuǎn)換為空間域相移，并采用其獨(dú)創(chuàng)的相位相關(guān)的
CCD技術(shù)，使得一個(gè)CCD幀頻內(nèi)就可實(shí)現(xiàn)全分辨的測(cè)量。其原理圖如下圖所示：
qe?Ns+j<d 
"Dq^r9 光源發(fā)出的
激光經(jīng)過(guò)PBS后分成偏振態(tài)不同的兩束光, 其中S偏振光射向樣品表面, P偏振光射向參考鏡. 樣品光和參考光被各自表面反射重新相會(huì)后, 由于偏振方向不同并不能發(fā)生干涉. 這樣合在一起的光經(jīng)過(guò)
光學(xué)系統(tǒng)成像, 透過(guò)一塊掩模板（見(jiàn)下圖）進(jìn)入CCD.
2!CL8hG5: 
%|:j=/_ 9C Ki$L 掩模板（定向微偏振片陣列）的單元
結(jié)構(gòu)與CCD的像元一一對(duì)應(yīng)相關(guān). 上述合在一起的不同偏振態(tài)的光透過(guò)掩模板的每個(gè)單元后會(huì)發(fā)生干涉, 并且在不同像元位置發(fā)生干涉的相位是不同的. 這樣, 任意一組相鄰的4個(gè)像元都發(fā)生了具有固定相位差的干涉. 對(duì)每一組像元進(jìn)行相移干涉計(jì)算, 就可以獲得整個(gè)樣品表面的形貌數(shù)據(jù).由于像元的位相是周期變化的，則在計(jì)算時(shí)可以重復(fù)利用相鄰像元，從而實(shí)現(xiàn)全分辨的測(cè)量。
wL]#]DiE • 4D 動(dòng)態(tài)干涉儀的優(yōu)點(diǎn)及其應(yīng)用：
~ Al3Dv9x 1.適合于惡劣環(huán)境下的測(cè)量
5
