面形精度：光學(xué)表面幾何形狀的準(zhǔn)確程度 uO"y`$C$_  
面形偏差：是光學(xué)零件的被檢測(cè)光學(xué)表面與參考表面的偏差. f P+QxOz  
參考表面可以是樣板,也可以是干涉參考表面，或者其他有足夠精度的測(cè)量裝置。 Y^yG/F  
光學(xué)零件的面形精度可以通過(guò)垂直位置觀(guān)察到的干涉條紋的數(shù)量、形狀、顏色及其變化來(lái)確定。  C[R`Ml  
國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)面形偏差包括三項(xiàng),標(biāo)注為N ,△1N, △2N ve6x/ PD  
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光學(xué)樣板檢驗(yàn)原理： 8+&gp$a$  
當(dāng)光學(xué)零件的被檢表面和樣板的工作表面（參考表面）相接觸時(shí)，由于兩者的面形不一致，產(chǎn)生一定的空氣隙，當(dāng)波長(zhǎng)為λ的光射到空氣隙上，便形成等厚干涉條紋。從等厚干涉知道，相鄰兩亮條紋之間的空氣隙厚度差近似為λ/2，即通常所說(shuō)的一個(gè)干涉條紋（光圈）相當(dāng)于空氣隙厚度變化為λ/2。因此光圈數(shù)為N部位所對(duì)應(yīng)的空氣隙厚度變化為N* λ/2。 PF