博開低溫泵(冷泵、冷凝泵)的應用
發(fā)布:erdan521
2015-04-11 15:02
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一)、博開超高低溫泵 ~`tc|Zu v-G(bw3 :CHCVoh@95 g;]2'Rj o?{VGJH<v "@`mPe/ #FaR?L![Y QS=n
50T, 3CQpe 二)、博開DZB400低溫泵應用 mq'q@@:c *o"F.H{#N i8HSYA 'zT/x`V E pM
4+ 一、設備情況: WHAEB1c#Q 1 、設備腔體尺寸直徑1.1 米; ^@X
=v`C 2 、前級泵:機械泵4.5Kw+ 羅茨泵3Kw ; Zb2 B5(0 3 、主泵配置:博開DZB400 低溫真空泵兩臺(原配2 臺KT500mm 口徑的擴散泵8Kw ); %q>gwq
A 二、使用情況: Iobo5B 1 、機械泵+ 羅茨泵預抽真空室至3Pa ,需要20min 。 ,b{G(sF 2 、開高閥,抽高真空至6.4x10 (-4 )Pa ,所需25min 。 >>^c_
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