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博開低溫泵(冷泵、冷凝泵)的應用

發(fā)布:erdan521 2015-04-11 15:02 閱讀:1490
一)、博開超高低溫泵 ~`tc|Zu  
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二)、博開DZB400低溫泵應用 mq'q@@:c  
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一、設備情況: WHAEB1c#Q  
1、設備腔體尺寸直徑1.1米; ^@X =v`C  
2、前級泵:機械4.5Kw+羅茨泵3Kw; Zb2 B5( 0  
3、主泵配置:博開DZB400低溫真空泵兩臺(原配2KT500mm口徑的擴散泵8Kw); %q>gwq A  
二、使用情況: Iob o5B  
1、機械泵+羅茨泵預抽真空室至3Pa,需要20min。 ,b{G(sF  
2、開高閥,抽高真空至6.4x10-4Pa,所需25min。 >>^c_