公司介紹 [NbW"Y7  
牛津儀器為客戶提供靈活，可配置的加工工具，以及針對精確，可控和可重復蝕刻，沉積，微米-納米結(jié)構(gòu)生長的前沿工藝。 >*$Xbj*  
　　牛津儀器的刻蝕、沉積和生長系統(tǒng)可以為材料的微米、納米級工程提供工藝方法，可以應用于半導體、光電子、MEMS和微流體、高質(zhì)量光學涂層及其他多種微納技術領域。 fPG3$<Zr  
　　這些解決方案是基于如下核心技術：等離子體刻蝕和沉積;原子層沉積(ALD); 離子束蝕刻&沉積;深硅刻蝕系統(tǒng);磁控濺射 MaZS|Zei[  
　　產(chǎn)品范圍包括單機研發(fā)系統(tǒng)、批處理設備直到具備大規(guī)模生產(chǎn)能力的片盒到片盒設備。 YAd%d|Q  
　　研討會主題：使用創(chuàng)新等離子加工技術蝕刻圖形藍寶石襯底(PSS) W4)bEWO+q  
　　舉辦時間：2015年6月4日 下午15:00-16:00 5JS*6|IbD{  
　　舉行公司：牛津儀器 ~Sx\>wBlc  
　　研討會簡介： CM)
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　　LED行業(yè)對提高經(jīng)營成本的積極性推動了牛津儀器的離子技術創(chuàng)新。經(jīng)過優(yōu)化的離子體工序為提高器件產(chǎn)量和降低制造成本提供許多途徑，達到一石二鳥的效果。LED制造商需要關鍵的離子體蝕刻步驟(圖案化藍寶石襯底(PSS)和GaN刻蝕)和沉積步驟進行鈍化，電流阻擋以及掩模制作。這些都是通過各種技術，例如等離子體增強化學沉積(PECVD)來進行。本次研討會闡述了通過提高加工率以及同時增加處理晶片的數(shù)量的方法，以提高這些工序的生產(chǎn)效率。 c9+yU~(  
　　研討會議程： 3]kN9n{  
　　1. 5分鐘介紹 - OFweek主持人; HP:[aR!2P  
　　2. 演講1： 20分鐘 – Dr MarkDineen《使用創(chuàng)新量子加工技術蝕刻圖形藍寶石襯底(PSS)》(英文版本); rGay~\  
　　3. 演講2：20分鐘 – Dr YoungHuang《使用創(chuàng)新量子加工技術蝕刻圖形藍寶石襯底(PSS)》(中文版本); }l_8~/9  
　　4. 問答環(huán)節(jié) - 20分鐘。 f0*_& rP