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    [求助]PMMA基板上鍍膜，出現(xiàn)膜裂和脫膜，求大神指點！ [復制鏈接]

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    離線即興以來
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2015-08-01
    回復本帖可獲得1枚光幣獎勵！
    每人最多可獲獎1次，獎池剩余3枚光幣 (中獎幾率10%)
    現(xiàn)在在PMMA基板上鍍AR膜，使用Leybold真空鍍膜機，電子槍蒸發(fā)方式，選用Ta2O5和SiO2作為鍍膜材料；會出現(xiàn)膜裂和脫膜現(xiàn)象，使用3M膠帶拉，膜層幾乎全部脫落；鍍膜前基板未經(jīng)清洗處理，在真空室中加熱到50℃，然后停止加熱，開始鍍膜，鍍膜整個過程中溫度未超過50℃。 .(Y6$[#@  
    求大神指點，如何改善工藝才能解決膜裂和脫膜的問題，非常感謝！ $~u.Wq  
    j'rS&BI G  
    +&v\ /  
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    離線yzhuang
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2015-08-19
    不用離子源嗎？用了離子源后50度咋可能控制在50度？除非設置離子源的功率特小，要不離子源的溫升效果也很明顯呀
    離線即興以來
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2015-08-19
    離子源的功率較低，所以整個鍍膜過程中溫升不明顯。
    離線dumoty
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2015-08-21
    鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。
    離線woshiyiyun
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2015-08-30
    膜層與基底結(jié)合力不夠
    離線即興以來
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2015-09-06
    回 dumoty 的帖子
    dumoty:鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  p#<nK+6.8  
    -tP.S1D  
    請問鍍膜前怎么清洗，嘗試過用酒精，不行！ :uvc\|:s